2026年8月31日至9月2日,京瓷(中国)商贸有限公司将首次亮相第十四届半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026),展位号A6-645,集中展示高精密深紫外物镜、精密光学元件、光学对准用相机模组、高耐久憎水膜等光学部品与解决方案。
展出的深紫外物镜覆盖MI、ST/CA系列,MI系列支持266nm和355nm波长,数值孔径0.85;另有研发中的深紫外折反射物镜。精密光学元件可加工直径达Φ300mm,面型精度优于λ/40,高损伤阈值镀膜在248nm波段达28J/cm²。光学对准相机模组定位精度低于0.1μm,高耐久憎水膜接触角超115°,耐摩擦试验超9000次。
京瓷具备从光学元件加工到模组组装的全链条能力,并通过IATF 16949认证。此次参展旨在对接中国半导体设备国产化对高性能光学核心部件的需求。
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原文标题:京瓷首次参展CSEAC 2026,全系列光学部品赋能半导体制造升级
原文来源:东方网-企业
原文链接:https://qiye.eastday.com/n34/20260824/b8be5402c2bb4f27880dcb8a25271136.html
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