至纯科技上半年营收10.20亿元 电子材料板块增长

至纯科技8月24日披露2026年半年报，上半年营收10.20亿元，同比下降36.57%；归母净利润-2.87亿元；经营现金流净额1.72亿元，由上年同期净流出5.63亿元转为净流入。

截至6月末，公司在手订单144.55亿元，剔除长期订单后63.99亿元；上半年新增订单29.62亿元，其中集成电路领域订单占比92%。合同负债15.08亿元，较期初增长。

电子材料（电子大宗气体）业务上半年营收2.04亿元，实现大幅增长。国内首座完全国产化适配28nm及以上制程的半导体级大宗气体供应工厂保持稳定运行，第二座面向12英寸量产线的大宗气站已投产供气。

半导体湿法清洗设备方面，至微半导体完成28nm节点全工艺机台开发并取得订单，国产首台12英寸高温硫酸SPM设备累计加工晶圆超100万片次。高纯工艺系统收入下滑但市占率领先。公司推出股票期权激励计划，拟授予1750万份。

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原文标题：至纯科技上半年营收10.20亿元，加速电子材料领域布局
原文来源：中国经济新闻网
原文链接：https://www.cet.com.cn/wzsy/cyzx/10523517.shtml

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